（interferometer），也稱為Michelson干涉儀，它是一種廣泛用于光學測量和實驗的儀器。在Michelson干涉儀中，光線被分成兩個路徑，經(jīng)過兩個鏡子的反射后再次合并。在合并的地方，如果兩條光路之間存在相位差，則會出現(xiàn)干涉條紋。通過測量這些干涉條紋的位置和形狀，可以計算出光線的波長、振幅、相位等參數(shù)。

　　Tablestable干涉儀是一種高精度的Michelson干涉儀，常用于制造和檢測精密光學元件和系統(tǒng)。它采用穩(wěn)定的平臺和支撐結(jié)構(gòu)，以確保兩個光路之間的穩(wěn)定距離和準確對準。此外，Tablestable干涉儀還配備了高精度的控制器和數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，以實現(xiàn)高精度的測量和控制。

　　Tablestable干涉儀在精密制造和測量領(lǐng)域有著廣泛的應用，例如半導體制造、光學元件制造、航空航天制造等。

　　描述

　　tablestable TFP-1光譜儀基于串聯(lián)3+3通道法布里-涉儀布置。反射鏡間距可在0.1÷30 mm范圍內(nèi)選擇。反射鏡通過壓電換能器在靜止位置周圍掃描，最大可達約2.5μm。

　　該儀器主要用于研究布里淵光譜，特別是擴展光譜范圍內(nèi)的許多或廣泛的特征。靈活性使得拉曼光譜（約500厘米）-1）可以測量。該結(jié)構(gòu)允許在輕微失去對準的情況下改變鏡面間距，因此可以在幾秒鐘內(nèi)再次實現(xiàn)對準。

　　與環(huán)境振動的隔離在高分辨率干涉測量中非常重要。干涉儀將直接測量小至1?的反射鏡的相對運動。大至10?的動作會降低儀器的性能。這種運動可能是由與建筑振動相關(guān)的加速度引起的結(jié)構(gòu)非共振變形引起的。在TFP-1光譜儀中，干涉儀載物臺安裝在主動隔離系統(tǒng)AVI-35 LPR上，基于定制的TableStable隔振裝置。支架直接固定在底板上，底板本身應盡可能牢固地固定在地板上。采用這種解決方案，即使泵直接安裝在光學工作臺上也不會影響干涉儀的運行。

　　該光譜儀包括一個基于雙快門系統(tǒng)LM2的自動穩(wěn)定機制，該機制允許引入固定參考光束進行穩(wěn)定。使用這種方法，鏡子的對準可以無限期地保持。

　　該光譜儀配備了操作所需的所有光學元件，在工廠對齊并封裝在黑色保護外殼中，安裝在堅固的鋁制底板上，適合安裝在英制和公制標準光學工作臺上。檢測器可供選擇，如下所述。光譜儀的使用以及基本檢查和對準程序的初步說明課程包含在光譜儀的價格中?；蛘?，該設備可以由經(jīng)過培訓的TableStable/JRS人員在現(xiàn)場安裝。

　　儀器特點：

　　-在公共平移臺上串聯(lián)配置的兩個法布里-珀羅腔的掃描組合;每個干涉儀上的三通。

　　-標準反射鏡，扁平至lambda/200并涂有高抗介電涂層，可在480÷540 nm范圍內(nèi)使用。可根據(jù)要求提供不同波長的定制鍍膜。

　　-通過電機控制載物臺，在30μm至30 mm范圍內(nèi)輕松更改鏡面間距，對準損失極小。后視鏡間距可以通過千分表直接讀取。

　　-平行四邊形平移臺可防止掃描過程中反射鏡傾斜。

　　-使用電容式傳感器的反饋回路提供高度線性的掃描。

　　-對溫度變化保持穩(wěn)定-不需要使用低膨脹材料進行結(jié)構(gòu)。

　　-兩個嵌入式主動隔振單元保證了干涉儀反射鏡的振動抑制，并提高了系統(tǒng)對準的穩(wěn)定性。

　　-掃描范圍0÷2.5μm，使用可變形的平行四邊形掃描平臺。

　　-儀器響應函數(shù)的對比度高于1010.

　　-掃描期間最大鏡面傾斜度：10-8拉德。

　　-掃描期間的最大抖動：1?。

　　-每個干涉儀都配備了遙控（粗）機械和（精細）壓電對準控制。

　　-線性掃描：偏離線性度最大值10-4的掃描幅度。

　　-儀器的光學板包括分析入射信號束和將光輸出到光檢測器所需的所有組件。

　　-選擇輸入和輸出針孔以匹配反射鏡間距范圍。儀器的輸入孔徑為f/18。

　　-儀器配置從透射到反射的電動切換，以方便對準。

　　-儀器的控制單元提供反射鏡的手動PZT對準控制，使用參考激光束上的反饋回路進行長時間穩(wěn)定，輸入快門操作，可選的掃描幅度，通過串行接口進行光子輸出計數(shù)以及電子遙控功能子集?？捎玫臄?shù)據(jù)采集軟件提供遠程交互功能。